詳細介紹

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特點

1. 腔體采用不銹鋼材料,保證系統(tǒng)材料的穩(wěn)定性；
2. 采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；
3. 支持自動手動模式，方便客戶靈活操作；
4. 智能自動模式：可以設置為2次清洗，2次進氣,每次清洗時間,進氣穩(wěn)定時間都可以設定；
5. 手動模式：手動模式下，系統(tǒng)可以啟動定時功能，清洗時間到，系統(tǒng)自動停止工作；
6. 氣壓穩(wěn)定功能（選配）：根據(jù)需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內(nèi)壓力；
7. 智能氣路功能（選配）：根據(jù)需要，可以配置質(zhì)量
8. 流量計系統(tǒng)，可以設置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；
9. 等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。

您可能還想要……

常壓等離子

中頻真空等離子

射頻真空等離子清洗機

射頻真空等離子清洗機

旋轉式沉積設備

原子層氣相沉積設備

pecvd 增強型化學氣相沉積

pecvd 增強型化學氣相沉積

電阻蒸發(fā)鍍膜儀

磁控濺射鍍膜儀

水老化試驗儀

吸附劑測試系統(tǒng)